Описание
Для осаждения тонких металлических слоев в нанометровом диапазоне, из различных материалов, катоды хром и медь,1 камера, вращающаяся корзина, комплект предварительного насоса, турбонасос, подача горячей и холодной воды для нагрева и охлаждения установки,
Холодильная установка L&R Kältetechnik WHK-15-W, год постройки: 2004,
Источник высокого напряжения ADS Maris,
Lsc R Ncohwm Iie Ifnsrn
шкаф управления, с управлением Siemens, полная модернизация системы управления заводом, год постройки: 2004