Рулонное напыление Bobst Group SA Roll-To-Roll Sputtering

Описание

Система напыления GVE/Optilab: рулонная система для нанесения сверхтонких слоев (в нанометровом диапазоне). Система позволяет наносить различные материалы (металлы, прозрачные проводящие слои) на пленочный материал. Он оснащен несколькими распыляющими катодами, что позволяет одновременно наносить несколько тонких слоев.
Lsc R Newi Sp Asc Ifnorn
GVE, Bobst Ltd, Optilab, 2010, Вакуумный рулонный распылительный аппарат с 3 камерами осаждения для 2 катодов каждая; В комплект входят: - ширина полотна 520 мм, двунаправленная намотка с возможностью чередования и удаления чередующихся полотен. Турбомолекулярная накачка (магнитная левитация) во всех зонах. Барабанный охладитель, блок подогрева (-20, до +200 град. С). Установка Polycold 1100 с криокатушками в каждой зоне распыления, а также в зоне намотки. Среднечастотная плазменная установка переменного тока GVE. Система контроля сопротивления после нанесения покрытия. (Измерение сопротивления по центральной линии полотна). Одна сенсорная система Siemens WIN CC для управления M/C и системой мониторинга. Зона инфракрасного обогрева (3 отопительных прибора). Система смещения веб-сайта (PSU и т.п.). 1 генератор с 2 импульсными источниками постоянного тока мощностью 20 кВт. 1 двойной магнит с 2 импульсными источниками постоянного тока мощностью 10 кВт (со скрытым анодом). MFC и т. д. 1 полностью интегрированная система управления напылением PEM. Первоначальная цена 1 450 000 евро.-