Pfeiffer C590 PVD Evap.Sputtering System Pfeiffer C590

Описание

Возможность:
2х Pfeiffer Classic 590 в наличии!
Цена: 99.500 евро/шт.
Конфигурация Нанесение покрытия 1:
Lroc R Nc Ifshwv Tfsnsn
2x Pfeiffer TPH 2301 (2300лс) полностью отремонтированы
Pfeiffer DCU 600
2x Дроссельный клапан НДС 64048-pe48-ads2/0001
1x полнодиапазонный датчик Pfeiffer PKR251
Pfeiffer TPR280 для предварительного вакуумирования
Предварительный насос Pfeiffer DUO 120 (120 м3/ч)
Вакуумная камера:
для подложки размером круглой 840 мм
вкл. экранирование и запасной комплект экранирования
2х видовой экран
Несколько кормушек
Вращающийся ввод вкл. термопару
Инфракрасный обогреватель
Гидроманифольды плюс клапаны
Вакуумные клапаны для вентиляции-откачки и т.д.
Примечания: В настоящее время используется для испарения сопротивления (лодки отсутствуют)
Текущий ПЛК и электронный шкаф демонтированы в связи с IP. Однако: при необходимости наша компания Orange Thin Films может провести полную реконструкцию с автоматизацией Labview и новыми процессами (например, Eeam-Sputtering-Evaporation и т.д.).
Нанесение конфигурации 2:
2x Pfeiffer TPH 2201 s p c (горизонтальные турбо 2200ls) полностью отремонтированы
Pfeiffer DCU 600
2x Дроссельный клапан НДС 64048-pe48-ads2/0001
1x полнодиапазонный датчик Pfeiffer PKR251
Pfeiffer TPR280 для предварительного вакуумирования
Предварительный насос Pfeiffer DUO 120 (120 м3/ч)
Вакуумная камера:
для подложки размером круглой 840 мм
вкл. экранирование и запасной комплект экранирования
2х видовой экран
Несколько кормушек
Вращающийся ввод вкл. термопару
Инфракрасный обогреватель
Гидроманифольды плюс клапаны
Вакуумные клапаны для вентиляции-откачки и т.д.
Примечания: Ток, используемый для испарения сопротивления (лодки отсутствуют)
Текущий ПЛК и электронный шкаф демонтированы в связи с IP. Однако: если требуется ou
[...]