Описание
Контроллер технологической камеры TMP
Контроллер TMP для устройства обработки вафель/10позиционных кассет фронтальной загрузки
Lroc R Nc Ifjuhcpyjnjn
Источник питания постоянного тока 5 кВт (AE)
Радиочастотный источник питания мощностью 5 кВт (Huettinger)
Технологический насос Leybold D65 + 250/500 корневой вентилятор
Вакуумный манипулятор для кассетной системы
1х 1000лс турбонасос Leybold
1x LN2 / ступень Мейсснера