Сухой вакуумный насос ULVAC Model LR600

Описание

Здесь мы предлагаем сухой вакуумный насос ULVAC.
Сухой вакуумный насос ULVAC
Решение для насосов грубой очистки
Сухой вакуумный насос
Уникальный подход ULVAC к использованию скрытого тепла в
корпус насоса позволяет серии LR / HR / UR,
производительность даже в самых жестких процессах.
ULVAC продолжил свои усилия по проектированию для поддержания
чрезвычайно равномерная высокая температура на всех ступенях насоса.
и это семейство насосов оптимизировано для CVD и травления.
Совместимость с системой ECO-SHOCK компании ULVAC для дополнительной экономии энергии.
Свойства
Насос серии LR предназначен для зарядки клапанных камер и процессов PVD.
Уникальная алюминиевая конструкция ULVAC обеспечивает очень равномерное распределение температуры по всему корпусу насоса:
Насос ULVAC серии LR предназначен для применения в системах, требующих наличия насоса с подогревом, отапливаемых газовых магистралей и/или отапливаемых выхлопных труб.
Отличная производительность гелиевой перекачки
Двигатель для консервирования для безопасности и простоты обслуживания
Выдерживает перерывы в электроснабжении до 500 мс.
Hoc Ed Dded R U Etjcofl
Внутренние компоненты специально обработаны для обеспечения высокого уровня поверхностной твердости и отличной коррозионной стойкости.
Это предотвращает износ внутренних деталей насоса при контакте с этими агрессивными газами.
(серия LR)
Предназначен для технологических газов, которые производят порошкообразные побочные продукты, такие как кристаллические печи роста Si.
Предварительный насос для
[...]