Alcatel Adixen AD100K высокий вакуум Alcatel Adixen AD100K AD30K 600-4500 m3/h.

Описание

Сухой насос Adixen AD30K, высокий вакуум
Новые мощные насосы сухого хода:
Серия ADH специально разработана для солнечных
Разработаны для сложных процессов на рынках полупроводников и светодиодов,
Со скоростью откачки 600-4500 м3/ч.
Полупроводники: высокая скорость перекачки H2
Производительность серии ADH обеспечивает следующие преимущества процесса:
-Рабочие характеристики процесса ADL: высокая эффективность перекачки легких газов.
Обеспечивает более быстрое опорожнение камеры между этапами процесса
- Эпитаксия и EUV: высокая скорость откачки и высокая скорость потока
Допуск соответствует самым требовательным техническим условиям процесса
Сухой насос Adixen AD30K, высокий вакуум, AD 30 KL
Производитель: Alcatel Adixen
Тип: AD30K.H
Год выпуска: 2008
Adixen AD100K.H
Производитель: Alcatel Adixen
Тип: AD100K.H
Год выпуска: 2008
Вакуумный насос:
Производитель: AERZEN
Тип: GM 2000 CM-C
Скорость: 6000 об/мин
Напряжение: 200-460 В
Частота (минеральное масло/PFPE масло): 100 с/с
Lrsc R Nc Ifeikq Tyenjn
Максимальная производительность всасывания: 4035 м3/ч
Макс. скорость: 5920 об/мин
Мощность двигателя S 1 / S 6: 9/5,6 кВт
Год выпуска: 2008
Вес: 345 кг
Сухой насос:
Производитель: Adixen
Тип: BF ADP122
Год выпуска: 2008
Мощность: 1,5 кВт
Максимальная производительность всасывания: 95 м3/ч
Максимальное постоянное давление на входе: 50 мбар
Максимальное избыточное давление выхлопных газов: 1200 мбар
Охлаждающая вода: 60 л/ч
Скорость (насос): 3000-3600 об/мин
Рабочая температура насоса: от 5 °C до 40 °C
Впускной фланец: DN 50 ISO-KF
Выхлопной фланец: DN 40