Описание
Дегазационная камера LC-tray
Blscowlirys R Nc Ifnji
2. Камера дегазации:
1. Вакуумный профиль;
1.1. Заданные значения давления регулируются в диапазоне от 1,103 до 1,10-3 мбар.
1.1.1. Диапазон измерений: 1.103 – 5.10-4
1.2. Заданные значения времени регулируются в диапазоне от 1 до 600 мин на шаг
1.2.1. Этап дегазации (D) может длиться от нескольких минут до нескольких дней.
1.3. Скорость эвакуации и вентиляции должна быть контролируемой.
1.4. Цикл эвакуации (A – D) выполняется автоматически.
1.4.1. Шаг вентиляции (E) должен быть активирован вручную (оператором)
1.5. Типичный профиль дегазации