Система высоковакуумного осаждения паров
Система высоковакуумного осаждения паров Arzuffi S.r.l. AM/KW 1800/1300 1DA2
Год выпуска
2011
Состояние
б/у
Отправить сообщение
Описание
AM/KW 1DA2 1800/1300 IC MF — это высокопроизводительное устройство для нанесения тонких покрытий с помощью высоковакуумных процессов. Устройство рассчитано на непрерывную работу с упором на высокую точность и надежность.
Bloc R Njwrnbmec Ifnsi
• Насосный агрегат:
- Включает диффузионные насосы HS20 (17 500–20 000 л/с),
- роторный насос SV 630 BF (630 м³/ч) и
- насос Рутса WH4400 (4400 м³/ч)
- насос Polycold
• Блок управления: ПЛК Siemens S7 и сенсорная панель Siemens 15” обеспечивают простоту управления и мониторинга процесса.
• Система загрузки: позволяет обрабатывать 6 подложек на одной стороне машины, пока цикл выполняется на другой стороне.
Характеристики
Соединение для сжатого воздуха
6 балка
Входное напряжение
400 V
Входная частота
50 Гц
Тип входного тока
трёхфазный
Мощность
113 кВт (153,64 л.с.)
Частота
50 Гц
Рабочая ширина
1 800 мм
Максимальный вес заготовки
60 кг
