Описание
Разрешение (Z) 0,38 мкм (175 мм) / 0,19 мкм (350 мм); система: 0,04 мкм Скорость контакта (Z) 0,1–1 мм/с Позиционирование (X/Z) X: 0,2–8 мм/с; Z: 0,2–10 мм/с Скорость измерения 0,2–4 мм/с Измерительная длина (X) 0,2–120 мм Диапазон измерения (Z) 50 мм Рычаги 175 мм, 350 мм Отклонение направляющей < 1 мкм / 120 мм Радиус наконечника 25 мкм Измерительное усилие 1–120 мН Дополнительные характеристики Автоматика, защитные элементы, расширенные калибровки, защита пользователя
Hoc Ed Dsw S Egxodcofl